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吉致電子拋光材料 源頭廠(chǎng)家
25年 專(zhuān)注CMP拋光材料研發(fā)與生產(chǎn)

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碳化硅拋光墊/復合無(wú)紡布墊Suba800國產(chǎn)替代

產(chǎn)品分類(lèi): 拋光墊
    吉致電子拋光墊
    產(chǎn)品名稱(chēng):碳化硅拋光墊/復合無(wú)紡布拋光墊
    產(chǎn)品厚度:1.2mm-3mm(可定制)
    開(kāi)槽規格:10×10--20×20(可定制)
    產(chǎn)品直徑:φ300-φ1300mm(可定制)
    產(chǎn)品特點(diǎn):高平坦性、低缺陷性和高性?xún)r(jià)比
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      復合無(wú)紡布拋光墊·參數吉致電子,CMP拋光材料 可定制·速率高·效果好·專(zhuān)利配方CUSTOMIZABLE, HIGH SPEED, GOOD EFFECT AND PATENTED FORMULA

      產(chǎn)品分類(lèi):吉致電子·拋光墊

      產(chǎn)品名稱(chēng):無(wú)紡布拋光墊/碳化硅SIC拋光墊/suba800替代

      產(chǎn)品厚度:1.2-3mm(可定制)

      開(kāi)槽規格:10×10--20×20(可定制)

      產(chǎn)品直徑:φ300-φ1300mm(可定制)

      吉致電子拋光墊滿(mǎn)足低、中及高硬度材料拋光需求,針對碳化硅SIC拋光的4道工藝制程搭配不同型號拋光墊(粗磨墊/精磨墊/粗拋墊/精拋墊)具有高移除率、高平坦性、低缺陷和高性?xún)r(jià)比等優(yōu)勢。

      產(chǎn)品工藝及用途:特殊纖維結構高耐磨的拋光材料,適用于碳化硅SIC/再生晶圓/各類(lèi)三五族或二六族等晶圓,如藍寶石、砷化鎵、氮化鋁等拋光,也適用于各類(lèi)襯底、窗口片或玻璃片的高平坦效果。


      碳化硅拋光墊·特點(diǎn)

      吉致電子碳化硅SIC拋光液開(kāi)槽拋光墊

      標準槽深為拋光墊厚度1/2 可以按客戶(hù)不同開(kāi)槽要求定制

      碳化硅拋光墊SUBA800替代

      吉致電碳化硅拋光墊的特點(diǎn)

      • 結合硬質(zhì)和軟質(zhì)研磨拋光墊的優(yōu)點(diǎn),可兼顧工件的平坦度與均勻度

      • 提供更快磨合的全局平坦性,提升碳化硅晶圓制程的穩定性與尺寸精密度

      • 壓紋和開(kāi)槽工藝,PAD可保持拋光液/研磨液良好的流動(dòng)性,不易沾粘,更易清洗

      • 特殊纖維材質(zhì),耐用、耐磨、耐酸堿,價(jià)比高

      吉致電子SIC襯底CMP粗拋工藝效果:

      SIC碳化硅粗拋工藝在實(shí)際應用中使用吉致電子碳化硅拋光液(JZ-8010)與 JZ3020拋光墊拋磨后,碳化硅表面RA值=0.13nm

      SIC粗拋工藝 碳化硅拋光墊

      想了解更多碳化硅CMP拋光工藝參數與方案,歡迎來(lái)電咨詢(xún)


      • 吉致電子復合拋光墊 無(wú)紡布拋光墊


      碳化硅拋光墊輔料參數:

      拋光墊背膠:

      吉致電子每種拋光墊都可以根據客戶(hù)要求提供背膠需求(3M/國產(chǎn)),使用時(shí)粘結牢固,且使用后易于從盤(pán)面剝離。

      背膠用途:

      液晶玻璃基板的研磨布,研磨墊的固定。

      晶圓,硬盤(pán)基板等研磨布的固定。


      CMP墊的固定。

      Rubbing Cloth固定等。

      高彈緩沖墊及吸附墊:

      可以根據客戶(hù)需求提供緩沖墊和吸附墊。緩沖墊是靈活應用高分子工業(yè)技術(shù)所研發(fā)出的高發(fā)泡硅膠泡棉。由于它具有普通泡棉所不具有的耐熱性、耐寒性、低燃燒性等特點(diǎn),可適用于貼合拋光阻尼布加工制成不同厚度的拋光墊,從而使拋光效果更佳更容易保護拋光工件。


      吉致電子碳化硅拋光墊價(jià)格實(shí)惠:

      吉致電子拋光墊生產(chǎn)引進(jìn)國外技術(shù),可以媲美進(jìn)口拋光墊產(chǎn)品(Fujiba/SUBA/環(huán)球等國產(chǎn)替代)品質(zhì)穩定。

      選擇吉致電子拋光墊產(chǎn)品,價(jià)格美麗,比進(jìn)口拋光墊便宜,交貨期穩定,性?xún)r(jià)比更高!

      吉致電子研發(fā)團隊--15年經(jīng)驗CMP拋光液配方工程師,為您攻克拋光難題!

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