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吉致資訊第119期 藍(lán)寶石化學(xué)機(jī)械拋光液作用研究

文章出處:責(zé)任編輯:人氣:-發(fā)表時(shí)間:2017-10-13 16:44【

目前,藍(lán)寶石基片是LED工業(yè)的首選襯底,藍(lán)寶石表面的質(zhì)量對LED器件的質(zhì)量和性能有著非常重要的影響。因此,在生產(chǎn)藍(lán)寶石基片時(shí),對后一道工序拋光加工工序有很高的要求,要求藍(lán)寶石基片的表面光滑、無缺陷,這也是藍(lán)寶石襯底重要的制程。但是,由于藍(lán)寶石晶體材料硬度高,脆性大,屬于典型的難加工材料之一。因此,如何讓拋光加工滿足日益增長的嚴(yán)格要求長期以來備受關(guān)注。如今的化學(xué)機(jī)械拋光是一可實(shí)現(xiàn)全局平坦化的拋光方法,而且它的成本相對較低,也是迄今為止可以在藍(lán)寶石生產(chǎn)中大規(guī)模應(yīng)用的拋光方法。硅溶膠為納米的二氧化硅顆粒,在水中或溶劑中的分散液,屬于膠體溶液,由于它價(jià)格實(shí)惠,分散穩(wěn)定性性較好,因此廣泛應(yīng)用于集成電路化學(xué)機(jī)械拋光液中。

由于科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步,人們在藍(lán)寶石拋光液的研究方面取得了較大進(jìn)展,硅溶膠拋光液在更廣泛的領(lǐng)域內(nèi)得到應(yīng)用,美國新澤西州立大學(xué)研究了水相介質(zhì)對藍(lán)寶石拋光的重要性,提出了在以氧化鋁為磨料的拋光液中,藍(lán)寶石表面會(huì)形成一層硬度較小、易于去除的水化層,從而加快去除速率,保證了表面質(zhì)量。

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